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半导体行业中常用的金蚀刻液 金蚀刻液是半导体行业中常用的一种化学溶液,大多数都用在在半导体晶圆上进行图形化和微细加工。它是一种非常特殊的化学溶液,具有高纯度、低离子含量、稳定性高等特点,因此被大范围的应用于半导体制造领域。 一、金蚀刻液的组成 1.溶剂:一般会用乙醇或异丙醇等有机溶剂作为溶解介质,用于将金粉或其他金属颗粒溶解在溶液中。 2.还原剂:还原剂的作用是在蚀刻过程中还原金属离子,使其形成可溶性的金属离子络合物,以此来实现对金属的蚀刻。常用的还原剂有亚硫酸钠、硫代硫酸钠等。 3.缓冲剂:缓冲剂能调节溶液的 pH 值,保证溶液的稳定性和均...
半导体行业中常用的金蚀刻液 金蚀刻液是半导体行业中常用的一种化学溶液,大多数都用在在半导体晶圆上进行图形化和微细加工。它是一种非常特殊的化学溶液,具有高纯度、低离子含量、稳定性高等特点,因此被大范围的应用于半导体制造领域。 一、金蚀刻液的组成 1.溶剂:一般会用乙醇或异丙醇等有机溶剂作为溶解介质,用于将金粉或其他金属颗粒溶解在溶液中。 2.还原剂:还原剂的作用是在蚀刻过程中还原金属离子,使其形成可溶性的金属离子络合物,以此来实现对金属的蚀刻。常用的还原剂有亚硫酸钠、硫代硫酸钠等。 3.缓冲剂:缓冲剂能调节溶液的 pH 值,保证溶液的稳定性和均匀性。常用的缓冲剂有羟基乙酸、磷酸盐等。 4.催化剂:催化剂能加速反应速率,提高反应效率。常用的催化剂有铜、铁等金属氧化物。 二、金蚀刻液的特点 3.稳定性好:金蚀刻液需要在长时间内保持稳定的化学性质,以确保蚀刻过程的准确性和稳定能力。金蚀刻液还需要具备一定的耐腐的能力和抗氧化性,以应对复杂的工作环境。 三、金蚀刻液的应用